服务项目

材料分析

失效分析

可靠性验证

结构观察

结构观察的重要性

半导体器件是一个复杂的多层三维立体结构。常规的电学测试只能告诉我们器件“是否工作”或“性能如何”，但无法解释“为什么”。表面观察也只能看到最顶层。截面分析可以直接观察薄膜的厚度​​、均匀性和界面质量;三维结构的形貌​​：如晶体管的栅极、鳍式场效应晶体管(FinFET)的鳍、电容器的深槽等;内部缺陷​​：如空洞、裂纹、晶格缺陷、界面分层、杂质析出等。