定位检测(OBIRCH/INGAAS/Thermal)
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- 应用范围
- 设备规格
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- 商品名称: 定位检测(OBIRCH/INGAAS/Thermal)
定位检测系统专注于失效点、热点与缺陷的精确定位,整合 OBIRCH / INGAAS 红外成像 与 Thermal 热成像 两套高端分析能力,均基于 HAMAMATSU PHEMOS1000 平台。
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集成电路 漏电点、短路点、开路缺陷 的 OBIRCH 定位
背面去层后的 Backside OBIRCH / IR 成像
器件工作状态下 热点(Hot Spot)检测与热分布成像
功率器件、LED、射频器件的 结温与热阻(Rth)分析
ESD、过电应力(EOS)及可靠性失效的物理位置确认
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OBIRCH/INGAAS/Thermal
HAMAMATSU PHEMOS-1000

设备能力:1X/5X/20X/50X/100X镜头,带Lock in模式,四路探针+背扎模式。
RTH-01

设备能力:1X/5X/10X镜头,两路探针. 带Lock in模式,两路探针
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