电性检测
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- 应用范围
- 设备规格
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- 商品名称: 电性检测
电性检测模块面向半导体器件与微纳结构的电流–电压特性分析，覆盖从μA级到nA级的高精度量测需求，支持自动化并行测试与手动精密量测两种模式。
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半导体器件 IV 特性曲线 扫描（二极管、MOSFET、BJT 等）
大规模阵列器件的 批量电性筛选与良率统计（Smart 1）
高压器件、绝缘结构与漏电流测试（Keysight B2901A）
微纳电极、MEMS、先进封装的 小尺寸探针接触测试（TX 2）
可靠性评估：击穿电压、漏电流、导通电阻、迟滞特性 等参数提取
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Smart-1
设备能力：精度uA级，电压范围±9V，ACT 64通道自动量测，外接probe量测。
Keysight B2901A
设备能力：精度nA级，电压范围±200V，手动量测、外接probe量测。
TX-2
设备能力：四针0.5um软针及1um硬针，可搭载电源、示波器、IV Curve等测试设备。
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