表面3D轮廓量测仪
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- 设备规格
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- 商品名称: 表面3D轮廓量测仪
表面3D轮廓量测仪分析手法,专为解决传统量测效率低与人为误差的痛点而设计。提供非接触式,且可快速扫描大面积的3D量测服务。基础原理是利用光源投射条纹光线在样品表面,样品的高低差会使条纹产生变化,再透过已知入射角度计算出对应的阶差,最终建构出完整的立体3D形貌。
久析能为你做些什么
久析提供的一站式表面3D轮廓量测服务,支持从样品前处理、机械与环境应力测试,到后段异常比对与故障分析的完整解决方案。当可靠度测试结束后若发现异常点,可透过久析内部的失效分析与材料分析实验室,深入找出问题根因,缩短开案周期,加快问题解决。
我们配备的Keyence VR-6200 表面3D轮廓量测仪具备自动化、非接触式高解析扫描功能,可同时量测面积(X/Y)、高度(Z)与曲率变化,无须复杂前处理,即可协助您掌握翘曲、膨胀、凹陷等塑性变形,可广泛应用于封装、模块、PCB 与高段差样品。
服务优势
高精度 + 高效率的3D量测能力
最大量测范围达 300×150×70mm,分辨率达 0.4 μm(高度)/±5μm(宽度),1400万像素黑白CMOS。支持高反射、低反射与透明样品,皆能稳定获取数据。
微结构与大面积兼顾
从整体模块到微小锡球皆可量测。非接触式一键扫描,无需手动对焦与繁琐调整,自动拼接有效避免人为误差。
串接一站式分析,快速找出故障真因
表面3D轮廓量测结果,可作为故障分析与材料分析之重要参考,快速定位出异常根因。
设备规格
Keyence VR-6200
显示分辨率:0.1um
Z轴精度:Without Z stitching: ±2.5um / With Z stitching: ±4.0um
XY轴精度:±5.0um ~ ±2.0um
XY轴分辨率:1 pixel = 1.9~24um (depends on magnification)
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平面测量


3D轮廓测量


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