超声波检测（SAT）
- 详细描述
- SAT原理
- 使用模式
- 案例图片
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- 商品名称: 超声波检测（SAT）
久析机台使用：SONOSCAN Gen7 C-Scan超声波扫描显微镜
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SAT超声波又称SAM，主要利用超声波的反射和透射特性，通过发射超声波并接收其回波来成像。超声波在遇到不同材料的交界面时会发生反射，形成不同的回波信号，从而可以判断材料内部的缺陷。
可侦测非常小的分离层,可精确定位界面、晶片裂缝、脱层、裂缝(Crack)、气洞、倾斜偏移。
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(C-Scan模式)指定深度平面图
特点：使用反射声学显微镜在 X-Y 平面沿深度(Z)采集声学数据，C-Scan 解析度高可单独对各层材料进行扫描
(T-Scan模式)穿透扫描模式
特点：使用透射声学显微镜在 X-Y 平面沿整个深度(Z)采集声学数据，T-Scan 仅能使用低频探头(穿透能力)解析度低，无法定位层面，在判断器件中的大缺陷时,T模式比C模式更快。
(A-Scan模式)单点深度讯号
特点：在给定的声学显微镜所能达到的最小 X-Y-Z 区域内采集声学数据，要用于对声学显微镜进行聚焦
(B-Scan模式)剖面图
特点：使用反射声学显微镜沿着 X-Z或Y-Z平面深度方向采集声学数据，提供截面声学信息，用于追踪缺陷的深度。
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